Năm 1878, Arthur Downes và Thomas P. Blunt xuất bản một bài báo mô tả việc khử trùng các vi khuẩn tiếp xúc với ánh sáng có bước sóng ngắn.[3] UV đã là một tác nhân gây đột biến được biết đến ở cấp độ tế bào trong hơn một trăm năm. Giải Nobel Y học 1903 đã được trao cho Niels Finsen với việc sử dụng tia cực tím chống lại tuberculosis - vi khuẩn gây bệnh lao da.[4]

Sử dụng ánh sáng tia cực tím để khử trùng nước uống được sử dụng trở lại vào năm 1910 tại Marseille, Pháp.[5] Các nhà máy nguyên mẫu đã được đưa ra khỏi dịch vụ sau chỉ một thời gian ngắn, do vấn đề độ tin cậy. Năm 1955, hệ thống xử lý nước UV đã được áp dụng tại Áo và Thụy Sĩ; đến năm 1985 khoảng 1.500 nhà máy đã được sử dụng ở châu Âu. Trong năm 1998, nó đã được phát hiện động vật nguyên sinh như Cryptosporidium và Giardia dễ bị tổn thương hơn với ánh sáng tia cực tím hơn suy nghĩ trước đây; điều này đã mở đường cho việc mở rộng mô xử lý nước bằng UV ở Bắc Mỹ. Đến năm 2001, hơn 6.000 nhà máy xử lý nước UV đang hoạt động tại châu Âu.[6]

Qua nhiều năm, chi phí sử dụng UV đã giảm do các nhà nghiên cứu phát triển và sử dụng các phương pháp UV để khử trùng nước và nước thải. Hiện nay, một số nước đã phát triển quy định cho phép các hệ thống để khử trùng nguồn nước uống của họ với tia cực tím.